第242章 高强度工作（2 / 2）

李树随后开始查看光刻机其他部分，光刻胶、掩膜、ccd、曝光系统，一切都没问题，包括硅片等硬件都没问题。

难道问题出在一直被忽略的光源！？

李树随后开始熟练的拆开光刻机的光源查看起来。

光刻机的光源部分，一直没让李树操心，科学院的高能物理研究所提供了很大的技术支持，在dUV深紫外光指标测试的时候，一切都是正常的，但这并不能代表在制程工艺提升之后光源能一直用下去！

李树越想越靠谱，便把所有涉及光源的仪器全都拆了下来。

所有人都被李树奇怪的操作给惊呆了，这意味着已经完工99%的光刻机，现在又变成了60%的进度。

马瑶上前道：“木……老板，镜头确定没有问题？”

李树点点头道：“理论上来说没有问题，应该是光刻机的光源出了问题，大概需要做出较大改变。”

马瑶有些气馁道：“三个月的努力成果现在要回炉重造，坦白说我很难受。”

李树拍拍马瑶的肩膀道：“刚发现问题是最好的啦，这说明振蓝的光刻机已经开始挑战极限了，如果这次能够修正，那我们将具备挑战极紫外光EUV光刻机的条件。”

果然如哲理上说的，问题和失败总伴随着机会。

李树带着光源部分部件，驱车驶向了科学院高能物理研究所，他要和研究所所长袁哲才讨论如何修正光源属性，使其满足目前270纳米光刻制程的光源需求。

同时，他将下一代光刻机用的极紫外光光源和袁哲才进行讨论。

尖端工业设备，通常都要用到高能物理这种基础研究技术，所以李树只要有空，就去找袁哲才讨论物理问题，顺便还能学到物理学的基础知识。

这位研究所所长有个奇怪的爱好，喜欢玩篆刻，在去之前，李树顺路买了一套顶级的芙蓉石头和龙泉印泥，上次去人家就开启昂贵的设备给李树测试光刻机的光源，这次总不能空手去。

像是高能物理研究所这种地方，看起来虽然平平无奇，不过里面干的都是高精尖的事情。

李树刚要进去，却被执勤武警拦了下来。

原来，正好轮到高能物理研究所的执勤武警整体轮值换岗，岗哨武警并不认识李树，所以开始了漫长的汇报、审批流程。

看来，此行还要和袁所长要个通行证才行了。

从超级地图上来看，高能物理研究所在1990年就已经建立了小型粒子对撞设备，开始了高精尖的粒子对撞研究，就在今年年初的时候还联合搞出r轻子质量的精确测定结果这项成果。

过了一会儿，袁哲才和他的助手匆匆赶来，和武警说明了情况，带着李树进入了高能物理研究所。

搞了半天，李树才知道，袁哲才是在开研究会议，若不是武警汇报情况的时候碰巧找到袁哲才助手，走正常的流程，估计要到明天才能见到袁哲才。

正当李树要表达歉意的时候，袁哲才笑道：“既然来了，就一起开会好了，我们某些设备需要的轴承，还得托你提供。”