第277章 EUV光刻机与DUV光刻机！（1 / 1）
当然，此时的绝大部分记者们并不知道如果想要生产9纳米和65纳米芯片。
其实不一定需要采用第5代浸没式光刻机技术，直接研发采用第四代的arf干式光刻机技术也行。
因为第四代的arf干式光刻
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